在線真空等離子清洗機(jī)是一臺(tái)全自動(dòng)設(shè)備，無(wú)需人員看護(hù)，產(chǎn)品通過(guò)流水線流入設(shè)備，自動(dòng)掃碼上傳MES系統(tǒng)后，自動(dòng)進(jìn)行等離子清洗，使用方便。該設(shè)備采用獨(dú)特的勻氣結(jié)構(gòu)，清洗過(guò)程中再配合抽速和有效功率的精準(zhǔn)控制工藝，清洗效果均勻性更好。設(shè)備有高中低配置可選，可以根據(jù)客戶應(yīng)用場(chǎng)景選擇最實(shí)用的方案。
設(shè)備特點(diǎn) Equipment Characteristics
• 全自動(dòng)化連線設(shè)計(jì),左進(jìn)右出/右進(jìn)左出
• 晶圓級(jí)氣路設(shè)計(jì),防止氣體泄漏引發(fā)安全事故
• 專(zhuān)利的兩級(jí)勻氣設(shè)計(jì)，大幅提高等離子均勻性
• 專(zhuān)利的電極鎧裝機(jī)構(gòu)，減少無(wú)效等離子損耗
• 腔體高密封專(zhuān)利設(shè)計(jì)可達(dá)5Pa以內(nèi)
• 水滴⾓<10°(FPC)
• 低溫清洗(＜40℃)
• MES系統(tǒng)通訊（選配）
設(shè)備參數(shù) Equipment parameters
| 功能配置 | 技術(shù)參數(shù) |
| 型號(hào) | HY-VP-16L |
| 外型尺寸 | L1630*W1010*H1820(mm) |
| 重量 | 540kg |
| 適用產(chǎn)品尺寸 | L≤400、W≤350、H≤20 (mm) |
| 抽真空時(shí)間 | 小于15s |
| 破真空時(shí)間 | 小于等于s |
| 工作真空度 | 10Pa-50Pa |
真空測(cè)定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻真空計(jì) |
| 氣體測(cè)量系統(tǒng) | 高精密質(zhì)量流量計(jì) |
| 工藝氣體 | 氧氣、氬氣(標(biāo)配) |
額定功率 | 3.5KW |
| 傳送方向 | ■左→右(標(biāo)配) □右→左（選配） |
需求氣壓 | 0.4-0.6Mpa |
顯示 | 10.4寸顯示器 |
| 控制 | 可編程序控制器(PLC) |
電源 | 三相380V（可選220V） |
射頻電源 | 0-500W（范圍內(nèi)可調(diào))、0-1000W (選配) |
掃一掃關(guān)注
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