多層真空等離子清洗機，腔體尺寸大小適中，可以適應大多數(shù)客戶產(chǎn)品清洗需求，并且該設備可兼容不同尺寸的
腔體，可根據(jù)客戶需求定制。
該設備采用獨特的勻氣結構，清洗過程中再配合抽速和有效功率的精準控制工藝，清洗效果均勻性更好。
設備有高中低配置可選，可以根據(jù)客戶應用場景選擇最實用的方案。
設備特點 Equipment Characteristics
- 腔體采用進口材料，軍工級的焊接工藝，密封性強，真空度最高可達5pa以內(nèi)
- 專利的勻氣結構，確保清洗效果均勻性和一致性
- 超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求
- 多種配置可供選擇搭配，滿足客戶不同需求
- 水滴⾓<10°(PCB)
- 智能化程序控制，一鍵啟動，操作簡單
- 低溫清洗(＜40℃)
設備參數(shù) Equipment parameters
| 功能配置 | 技術參數(shù) |
| 型號 | VP-100LA |
外型尺寸 | L1040*W800*H1820(mm) |
| 重量 | 500kg |
腔體尺寸 | L460*W450*H500(mm) |
腔體材質(zhì) | 鋁合金（可訂制不銹鋼） |
最大處理產(chǎn)品尺寸 | L400*W350*H390（mm） |
電極板層數(shù) | 水平9層（可定制豎直方向） |
可處理產(chǎn)品層數(shù) | 8層 |
電源 | 射頻13.56MHZ，0-1000W（可選40KHZ,0-1000W） |
真空泵 | 標配國產(chǎn)油泵（可選進口油泵/干泵/油泵+羅茨泵） |
工藝氣體 | 氬氣、氧氣（可選配氮氣、氫氣） |
真空計 | 國產(chǎn)皮拉尼電阻真空計（可選進口） |
流量計 | 國產(chǎn)高精密質(zhì)量流量計（可選進口） |
流量范圍 | 0-300sccm |
工作真空度 | ≤30Pa |
電源 | 三相380V（可選倆相220V） |
控制 | PLC+10.4寸觸摸屏 |
額定功率 | 2.5KW |
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